微量氧气分析仪是对惰性气体、碳氢气体、He、H2、CO2中的氧含量进行PPM分析，是测量H2、N2、Ar、He、乙炔、乙烯、丁二烯、CO2、CnHm及其它气体中氧含量的理想仪器。
应用：
空气液化和分离。
石油化工、电子电力等行业中高纯氧的分析。
空分高纯氧监测。
冶炼行业。
医疗卫生行业。
微电子、半导体、航天等领域。
制氢/制氮/C02设备，净化/干燥设备等。
微量氧的分析方法主要有比色法、化学电池法、黄磷发光法、浓差电池法和气相色谱法。化学电池法的微量氧分析仪指的利用氧化还原电池的原理进行微量氧分析，它的传感器（检测器）是化学原电池，主要由一个阴极，一个阳极和电解液组成，以上部件密封于惰性的壳中，被测气体中的氧进入电池中阴极附近O2得到电子，阳极由金属铅制成，失去电子本身被氧化，电池产生的电子由电路引出然后进行补偿修正放大，即可测出被测气体中的氧含量。
干扰杂质主要指除背景气和待测组分外存在的少量未知杂质，如燃料电池式微氧仪对酸性、氧化性气体敏感，如果气体中含有酸性气体成分，如CO2，H2S，HCl，HCN等，则燃料池传感器易中毒失效。而微量的还原性气体对氧化锆式微氧仪的分析结果产生影响，最近又发现微量的N2O对氧化锆式微量氧分析仪产生影响，所以在检测时要充分考虑到杂质的存在，选择恰当的分析仪，才能得到准确的结果。
