氧气是空气的重要组成部分，氧气的含量关系到我们呼吸的质量。同时氧气也是工业生产中常见的气体原料，而工业生产中产生的气体成分复杂，可能含有大量可燃气体且过爆炸下限。微量氧分仪的原理主要有化学电池法、原电池法、燃料电池法、赫兹电池法和浓差电池法，对惰性气体，碳氢气体，He，H2，CO2中的氧含量进行PPM分析，是测量H2 ，N2 ，Ar ，He ，乙炔， 乙烯，丁二烯，CO2 ，CnHm 及其它气体中氧含量的理想仪器。微量氧分析仪之所以是叫微量是因其测量的氧浓度非常小，除了一些特殊领域外，其他地方测氧浓度是很少用到的。
微量氧分析仪应用：
空气液化和分离；
石油化工、电子电力等行业中高纯氧的分析；
空分高纯氧监测；
手套箱氧气分析仪；
医疗卫生行业；
微电子、半导体、航天等领域；
制氢／制氮／C02设备，净化／干燥设备等。
样品中的水分在管壁上冷凝凝结，造成对微量氧的溶解吸收，应根据情况对取样管线采取绝热保温或伴热保温措施。检测液氮中的微量氧时，尤其要注意加温措施，不然，由于氧沸点低于氮沸点13度，样品气不均匀气化，会使测量值严重偏低。样品气中不能含有油类组分或固体颗粒物，以免引起渗透膜阻塞和污染。样品气中不应含有硫化物、磷化物或酸性气体成分。这些组分会对燃料电池，特别是碱性燃料电池造成危害。
