微量氧分析仪采用*密封的燃料池氧传感器是当前先进的测氧方法之一，由高活性的氧电极和铅电极构成，浸没在KOH溶液中。微量氧的分析方法主要有比色法、化学电池法、黄磷发光法、浓差电池法和气相色谱法。其中比色法是较早采用的分析方法，它是国家标准规定的方法，利用铜氨溶液进行比色分析，由于操作复杂，准确度难以保证，并且不能实现自动在线分析，现在已很少采用，不过它还是一种仲裁方法。黄磷发光法是利用氧气与黄磷氧化燃烧进行分析，具有分析速度快，可以连续分析的特点，但该方法采用的黄磷是危险化学品，生成的产物具有腐蚀性，并且检测限低，所以现在已很少采用。
已知微量氧分析仪与磁力机械式氧分析仪存在背景气体的干扰问题。若背景气体中含有较大量的NO气体和NO2气体等磁化率较高的气体时，不适合选用这两种仪表。应用氧化锆分析仪时，若被测气体中含有H2、CO等还原性气体时，会发生还原反应消耗氧气，影响仪表测量值较实际偏低。这些干扰在常量氧检测时有时不太明显，但在检测微量氧含量时，必须注意这些问题。
如制氮装置的高纯氮产品中的氧含量要求多不超过1×10-5，用氧化锆氧分仪检测，必须考虑除去氮气中的H2、CO等还原性气体。如空分装置曾有一台氧化锆分析仪，检测氮气中的氧含量，工艺过程中氧含量一般大约在4×10-6，仪表经校验投用之后检测结果总是负值，后来在样品气进表之前加装了一只还原性气体滤除器，问题则得以解决。
