微量氧分析仪分为两种分析原理：分别为燃料电池法微量氧分析仪和氧化锆微量氧分析仪。燃料池氧传感器由高活性的氧电极和铅电极构成，浸没在KOH溶液中。在阴极氧被还原成氢氧根离子，而在阳极铅被氧化。
操作微量氧分析仪时，我们要注意什么：
1.污染：
在重新使用仪器时，首先须注意在连接取样管路时是否漏入空气。并且必须认真将漏入空气吹除干净，尽量不使大量氧气通过传感器以延长传感器寿命。在管道系统净化过程中，为缩短净化时间，需要有一定的方法，一般使用高压放气及小流量吹除交替进行可迅速净化管道。
2.管道材质的选择：
管道材质及表面粗糙度也将影响样气中氧含量的变化。一般不宜用塑料管，橡胶管等作为连接管路。通常选用铜管或不锈钢管，对超微量分析(指<0．1×10-4％)则必须用抛光过的不锈钢管。
3.泄漏：
氧分析仪在初次启用前必须严格检漏。仪器只有在严密不漏的前提下,才能获得准确数据结果。任何连接点，焊点，阀门等处的不严密，将会导致空气中的氧反渗进入管道及仪器内部，从而得出含氧量偏高的结果。
4.气路系统的简化及洁净：
微量分析要求必须有效排除气路上的各种管件，阀门，表头等中的死角对样气造成的污染。因此，应尽可能简化气路系统，选用死角小的连接件等。并且，避免使用水封，油封及腊封等设备，防止溶解氧逸出造成污染，更需避免在样气引出至仪器进口的管线上增加易造成污染的净化设备等。只有这样才能保证系统洁净，所得数据准确。
